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型号:Thermo ESCALAB 250XI; Axis Ultra DLD Kratos AXIS SUPRA; PHI-5000versaprobe测试项目:原则上可以测试除H,He之外的元素,说明如下:1.元素的价态及半定量分析。小于1%的元素可能测不出明显信号。2.俄歇谱、价带谱和刻蚀(<5nm)。刻蚀一般在5nm以内。3.含铁钴锰镍元素的定性为磁

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型号:Thermo ESCALAB 250XI; Axis Ultra DLD Kratos AXIS SUPRA; PHI-5000versaprobe

 

测试项目:

原则上可以测试除H,He之外的元素,说明如下:

1. 元素的价态及半定量分析。小于1%的元素可能测不出明显信号。

2. 俄歇谱、价带谱和刻蚀(<5nm)。刻蚀一般在5 nm以内。

3. 含铁钴锰镍元素的定性为磁性样品,样品含S,F等元素或其他特殊需求需要咨询交流。

 

样品要求:

1. 样品状态:可为粉末、块状、薄膜样品

2. 粉末样品:20-30mg

3. 块状、薄膜样品:块体/薄膜样品尺寸小于5*5*3mm

 

常见问题及回答:

  某些价态会扫不出来吗?

不会,全谱能量很高。如果测不出来,要么就是污染碳很高,要么就是含量很少。一般是后者原因居多。

 

  每种元素的检测限一样么?

不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。

 

  怎么判断拟合是好是坏,是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好?

看波动大小,越小越好;还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰,要参考样品本身的情况,以及拟合的贴合度,没有严格的界定哪个更好。

image.png

 

结果展示:

250xi 是相对常用的设备,其结果如下:

    image.png

测试结果给出的是VGD格式和excel格式测试结果。Excel格式文件用origin软件作图;VGD格式文件可以用AVANTAGE分析软件打开。

 

PHI的格式如下:

image.png

测试结果给出的是原始文件pdt格式和excel格式测试结果。Excel格式文件用origin软件作图;pdt需要特定软件multipak打开。


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